四極桿電感耦合等離子體質譜儀校準規范 JJF 1159 電感耦合等離子體質譜儀是比較常用到的一種設備,主要是由等離子體發生器、霧化室、矩管、四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管等部件組成。電感耦合等離子體質譜儀工作原理是根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中,在高溫下電離成離子,產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離,既可以按照荷質比進行半定量分析,也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成,還配有數據處理系統、真空系統、供電控制系統等。 |